Elektrik, Manyetik ve Optik Özellikler Ölçüm Laboratuvarı

Vaksis Termal Buharlaştırma İnce Film Kaplama Sistemi

                     PVD_MT_2M2T_01.jpg

          İnce film kalınlığı nanometre boyutundan mikrometrelere kadar uzanan çeşitli katman malzemelerine verilen isimdir. Elektronik yarı iletken aygıtlar ve optik kaplamalar, ince film yapılardan yararlanılan temel uygulamalardır. Bir yüzeye ince film uygulanması işlemine ince film kaplama (yerleşim) denir. Fiziksel bir kaplama yöntemi olan termal buharlaştırma yönteminde malzemeyi eritmek ve buhar basıncını kullanışlı bir seviyeye ulaştırmak için eletrikli rezistans ısıtıcı kullanılır. Bu işlem yüksek vakumda yapılıp, hem buharın katmana herhangi etkileşme olmaksızın ulaşmasını (veya diğer gaz-fazlı atomlardan kaynaklı saçılma olmamasını), hem de vakum tüpündeki artık gazlarla birleşmesiyle oluşabilecek safsızlığı azaltmayı sağlar.

          Merkezimizde bulunan MİDASm PVD/2T Termal Buharlaştırma İnce Film Kaplama Sisteminde iki termal buharlaştırma kaynağı tek bir proses kazanında birleştirilmiştir. Bu sistem ile farklı taşıyıcılar (substrate) üzerine istenilen kalınlık değerlerinde ince filmler kontrollü olarak kaplanabilmektedir.

Teknik Özellikler

Marka: Termal Buharlaştırma İnce Film Kaplama Sistemi

Model: MİDASm PVD/2T

Buharlaştırılabilir Metaller: Ge,Ni, Au, Ag, Cr, Ti ve benzer metaller

Vakum Ölçümü: 760-10-6 Torr

Alttaş Tutucusu: Maks. Alttaş boyutu: 4 inç.

Sorumlu Personel:

Öğr. Gör. Fatih ÜNAL (M.Sc.)

E-posta: fatih.unal@giresun.edu.tr

Online Analiz Talep Formu

 

Malvern Zeta Potansiyel ve Partikül Boyutu Ölçüm Sistemi

Elektrokimyasal Empedans Ölçüm Sistemi